차별화된 기술, 제품, 서비스로 가장 앞서 도약하는
GLOBAL NO.1 반도체 기업입니다

개요

1991년 GAS CABINET 생산을 시작으로 1996년 반도체 전공정 핵심장비인 원자층 증착 공정장비(ALD)개발 및 양산에 성공했고, 2001년에는 반도체 전공정 PE-CVD장비를 개발하여 공급하는 등 전량 수입에 의존하던 국내 반도체 업체의 생산원가절감에 크게 기여하였으며 지속적인 R&D를 통한 사업다각화와 고품질의 서비스를 통하여 국내 반도체산업발전의 큰 축을 이루고 있습니다.

제품소개

  • SMC군
    SMC군에는 CVD EQUIPMENT, BLUETAIN, DB21, AKRA가 있으며, 이중 CVD는 반도체를 가공하는 메인 공정장비이며, AKRA는 CVD 및 ALD를 동시에 진행할 수 있는 증착 설비입니다.
  • FPD군
    TFT-LCD, AMOLED PANEL의 패턴 형성에 필요한 DRY ETCHER와/무기 진공증착기가 있으며, 특히, 진공 증착기는 AMOLED PANEL 제조에 반드시 필요한 핵심공정 장비이다.
  • SOLAR군
    태양전지 표면을 가공하는 설비로서 태양광의 반사율을 최소화시킨다. 주요 제품으로 R.I.E/PECBVD/LPCVD이 있다.

문의

  반도체 사업 솔라사업 FPD사업
메일문의 semi_in@ips.co.kr (국내)
semi_out@ips.co.kr (국외)
solar@ips.co.kr (국내) fpd@ips.co.kr (국내)

개요

원익큐엔씨는 반도체 Wafer 생산에 필수적 요소인 Quartz Ware와 반도체, 디스플레이 제조공정에 사용되는 Ceramic Ware를 전문적으로 제조/공급하는 복합소재부품 전문기업입니다. 반도체 소재 부품 분야 에서 세계적인 기술력과 양산능력으로 국내외 반도체 장비 업체로부터 그 기술력과 품질을 인정받고 있습니다.

제품소개

  • 쿼츠
    반도체, 태양광전지, 디스플레이, 광섬유 제조용으로 제품군이 나누어지며, 웨이퍼 전공정 중 산화, 식각, 화학기상증착, 이온주입공정에서 웨이퍼를 불순물로부터 보호하기 위한 용도로 사용되고 있습니다.
  • 세라믹
    반도체, Display 제조공정에 사용되는 산화물, 비산화물 세라믹 부품 제조기술과 장비를 보유하고 있습니다.
  • 램프
    172nm 자외선이 조사되는 Excimer VUV Lamp는 최첨단 반도체, Display 분야, 환경기술과 각종 수지 및 플라스틱 또는 금속재질의 표면 개질 등 여러 공정에 걸쳐 사용되고 있습니다.
  • 세정
    반도체 제조공정 중 가장 중요 한 공정인 Diffusion(확산), LPCVD(박막증착) Process 장비에 사용되는 반도체의 정밀 세정 분야에서 최고의 노하우와 기술력을 보유하고 있습니다.

문의

  쿼츠 영업 세라믹/램프 영업 세정 영업 경영지원
문의 031-8038-9121 031-8038-9167 031-285-7800 054-479-9500

개요

전자, 전기, 정보통신 첨단 산업에 필요한 고순도 특수가스를 생산, 공급하는 Spe-cialty Gas-es, Chemical 전문제조기업으로서 지속적인 기술 개발 및 혁신 활동 등 가치 창출을 통해 초일류기업으로 도약하고 있는 회사입니다.

제품소개

  • Pure Gas
    단일성분의 가스로서 특정불순물의 함량이 일정농도 이하로 보증되는 가스를 말하며 의료용, 각종 분석기의 캐리어 가스, 연구용, 전구의 주입용 등에 사용된다.
  • Mixture Gas
    혼합물 내에서의 가스 성분의 농도는 그 성분의 부피를 결정하고, 이는 압력으로 나타낼 수 있다. 이때의 압력을 부분압력이라 한다. 부분압력은 혼합가스의 각 성분의 농도에 따라 정해진다.

문의

  경영지원본부
메일문의 ymcho@wimco.co.kr (영업/영업관리)

개요

원익테라세미콘은 AMOLED 양산장비를 비롯하여, 반도체 및 태양전지 제조에 필수적인 고온 열처리 및 CVD장비를 제공하고 있습니다. 특히 종래의 일반적인 열처리 및 화학증착 공정에서 발생하는 기술적인 한계를 극복하는 혁신적인 solution을 제공합니다.

제품소개

  • 반도체
    원익테라세미콘의 300mm 반도체 장비는 100°C~1,350°C 넓은 온도 영역대의 열처리공정과 CVD공정에 대해 수십 nm급 최첨단 반도체 양산line에서의 검증된 기술을 확보하고 있습니다.
  • AMOLED장비
    고품질 LCD 및 AMOLED display 분야에 새로이 부각되는 LTPS(Low Temperature Poly Silicon) 공정용 Non-laser 결정화 장비와 LTPS 열처리 공정에 필요한 모든 thermal processing 장비를 제공하고 있습니다.
  • 태양전지
    원익테라세미콘은 FPD 공정 장비와 반도체 장비에서 얻은 기술과 양산 know-how를 바탕으로 bulk형 결정질 태양전지 제조장비 뿐만 아니라 박막형 태양전지 제조장비를 제공합니다.

문의

  본사 안성공장 화성사무실 탕정사무실
문의 031-479-9800 031-8056-2800 054-479-9850 041-523-1173

개요

원익홀딩스는 1991년 창사 이래 지속적인 연구개발과 고객만족 경영으로 국내 GAS장비산업 발전에 이바지해오고 있습니다. 설립초기에는 Utility설비인 Gas Cabinet을 국산화하여 납품하였고, 2014년 Gas C-Purifler를 성공적으로 개발하여 현재까지 국내 유수의 기업에 상당규모의 장비를 공급하고 있습니다.

제품소개

  • Gas Supply System
    반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 필요한 특수 가스를 일정한 유량과 압력으로 안전하게 공급하기 위한 장치
  • Gas Purification System
    Gas Purification System은 Bulk 또는 특수 가스를 반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 적합한 순도로 정제하여 사용자의 품질 조건에 부합할 수 있도록 해 줍니다.
  • Precursor Supply System
    Precursor Supply System은 박막 증착을 위한 반도체 CVD 공정상 필요한 Precursor를 일정한 유량과 압력으로 안전하게 공급하기 위한 장치입니다.
  • 배관 공사
    반도체 또는 LCD 공정장비에 사용되는 Gas들에 대해 고 순도를 유지하며 누출 없이 설비 까지 공급할 수 있도록 연결 시켜주는 Piping작업입니다.
  • Gas Monitoring System
    Gas 공급 장치의 현재 상태를 Control Tower에서 실시간 Monitoring 할 수 있는 중앙 Monitoring System입니다.

문의

  본사(지제) 흥덕사무소 모곡사업장
문의 031-659-2000 031-230-4600 031-668-8628