拥有革新型技术和力量的韩国半导体产业先驱者

概要

自1991年开始生产GAS CABINET,1996年成功开发出半导体前期工艺核心设备—原子层沉淀工艺设备(ALD)实现事业多元化和通过高品质的服务成为国内半导体产业发展的主轴并实现量产,2001年开发出半导体前期工艺PE-CVD设备并供货,为此前全部依赖进口的国内半导体企业的生产成本大幅下降做出了巨大的贡献。通过持续的研发实现业务多元化,并且通过高品质的服务成为国内半导体产业发展的重要角色。

产品介绍

  • SMC产品组
    SMC产品组包括CVD EQUIPMENT、BLUETAIN、DB21和AKRA。其中CVD是半导体加工的主要工艺设备,AKRA是可以同时进行CVD和ALD的沉积设备。
  • FPD产品组
    FPD的主要产品包括形成TFT-LCD、AMOLED PANEL图案所需要的DRY ETCHER和有机/无机真空沉积机,尤其真空沉积机是制造AMOLED PANEL中必不可少的核心工艺设备。
  • SOLAR产品组
    SOLAR作为对太阳能电池表面进行加工的设备,能够减少太阳光的反射率。其主要产品包括R.I.E/PECBVD/LPCVD。

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  半导体事业 太阳能事业 FPD事业
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semi_out@ips.co.kr (海外)
solar@ips.co.kr (国内) fpd@ips.co.kr (国内)

概要

半导体及TFT-LCD生产所需核心配件专业制造企业,特别是作为世界三大Quartz Ware供应企业,以世界级技术力量为基础,不仅向三星、HYNIX、LG、飞利浦等国内企业供货,同时还向全世界半导体企业与设备企业提供产品。

产品介绍

  • QUARTZ业务
    QUARTZ WARE产品组包括半导体制造工艺,太阳能电池制造工艺,LCD及LED制造工艺,用于半导体的WAFER制造工艺用消耗性配件的行进与输送工具。
  • CERAMICS
    制造用于半导体、LCD等制造工艺的AL203结构的陶瓷,拥有从氧化物到非氧化物的多种材料的制造技术。
  • LAMP
    照射17201紫外线的EXCIXER VUV LAMP,用于半导体、DISPLAY领域、环境技术与各种树脂及塑料或金属材质等的表面重整等多项工艺。
  • CLENING
    主要业务为半导体精密洗净,用于半导体制造工艺中的DIFFUSION(热氧化)、LPCVD(薄膜沉积)PROCESS设备。

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  经营支援本部 CERAMICS事业部 CLEANING事业部
咨询 054-479-9800 054-479-9850 054-479-9850

概要

本公司是生产电子、电气、信息通信先进产业需要的高纯度特殊气体的Spe-cialty Gas-es、Chemical制造企业。公司通过持续的技术开发和创新活动等,不断创造价值,努力发展为世界一流企业。

产品介绍

  • Pure Gas
    属于单一成分的气体,保证特定不纯物质含量达到一定程度以下,使用于各种分析仪的载气、研究用、灯泡注入用等。
  • Mixture Gas
    混合物质里面的气体成分浓度决定该成分的体积,这可以用压力来表现。此时的压力称之为部分压力。部分压力按照混合气体的各成分浓度来决定。

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  经营支援本部
咨询 ymcho@wimco.co.kr (营业/营业管理)

概要

Tera Semicon提供 AMOLED 量产设备以及半导体和太阳能电池的制造所需要的必需高温热处理及CVD设备。并且改善一般热处理及化学沉积工序中发生的技术问题,提供创新型解决方案。

产品介绍

  • 半导体
    TERA的300mm 半导体设备确保能应对100°C~1,350°C温度变化的热处理工序和CVD工序,通过数十nm级最先进的半导体量产line得到验证的技术。
  • AMOLED设备
    TERA提供在高质量LCD和AMOLED display领域备受关注的 LTPS(Low Temperature Poly Silicon)工序用Non-laser结晶化设备和LTPS热处理工序需要的所有 thermal processing设备。
  • 太阳能电池
    TERA以FPD工序设备和半导体设备中获取的技术和量产技巧为基础,提供bulk型结晶质太阳能电池制造设备以及薄膜型天阳能电池制造设备。

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  总公司 安城工厂 华城办事处 汤井办事处
咨询 031-479-9800 031-8056-2800 054-479-9850 041-523-1173

概要

圆益控股公司于1991年成立以来,通过持续的研发和客户满意经营,为国内GAS设备产业的发展做出了一定的贡献。成立初期首次在国内生产和供应属于 Utility设备的Gas Cabinet,2014年成功开发Gas C-Purifler,到现在为止向国内屈指可数的企业供应大规模的设备。

产品介绍

  • Gas Supply System
    以一定的流量和压力安全供应半导体、FPD、LED以及Solar制造工序所需要的特殊气体的设备。
  • Gas Purification System
    Gas Purification System将Bulk或特殊气体加工成适合半导体、FPD、LED以及Solar制造工序的纯度,以符合客户质量条件的状态供应的设备。
  • Precursor Supply System
    Precursor Supply System是以一定的流量和压力安全供应为了薄膜沉积的半导体工序所需要的Precursor的设备。
  • 配管工程
    配管工程是为了使用于半导体或LCD工序设备的气体,在维持高纯度的状态下不泄露地供应到设备,进行管道连接的Piping施工。
  • Gas Monitoring System
    气体监控系统Gas Monitoring System是在控制塔随时监控气体供应状态的中央监控系统。

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